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1、 《半导体集成电路制造手册》是2006年在中国工业出版社出版的图书，由[美] Hwaiyu Geng（耿怀玉） 等著，。
2、该书是一本综合性很强的参考书，由60名国际专家编写，并由同等水平的顾问组审校。
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