半导体核嬗变掺杂(关于半导体核嬗变掺杂简介)

穆克凡
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1、 半导体核嬗变掺杂是用一定能量的中子、带电粒子或γ射线等照射材料,通过选择的核反应在基体中生成原来不存在的新元素,达到半导体材料的掺杂目的。

2、只有中子嬗变掺杂(NDT)得到了实际应用。

3、此方法的原理是K.拉克-霍罗维茨于1951年提出的。

4、1974年成功地用核反应堆热中子对区熔硅进行核嬗变掺杂,首次生产了商品的中子嬗变掺杂硅。

5、中子掺杂硅单晶已成为工业产品,产量逐年增加。

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