半导体IC芯片制造过程的建模、运行分析和仿真（关于半导体IC芯片制造过程的建模、运行分析和仿真简介）

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1、 《半导体IC芯片制造过程的建模、运行分析和仿真》是依托上海交通大学。

2、由吴智铭担任项目负责人的面上项目。

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