导读 大家好,小金来为大家解答以上的问题。单晶生长法,关于单晶生长法这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、 单晶生长法基本原理
大家好,小金来为大家解答以上的问题。单晶生长法,关于单晶生长法这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 单晶生长法基本原理,多晶体硅料经加热熔化,待温度合适后,经过将籽晶浸入、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤,完成一根单晶锭的拉制。炉内的传热、传质、流体力学、化学反应等过程都直接影响到单晶的生长与生长成的单晶的质量,拉晶过程中可直接控制的参数有温度场、籽晶的晶向、坩埚和生长成的单晶的旋转与升降速率,炉内保护气体的种类、流向、流速、压力等。
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