导读 大家好,笑笑来为大家解答以上的问题。变形光刻系统，关于变形光刻系统介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！1、 在高数值孔
大家好,笑笑来为大家解答以上的问题。变形光刻系统，关于变形光刻系统介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！
1、 在高数值孔径（high NA）极紫外光刻（EUVL）中，为了减小阴影效应（shadowing effect）和提高产能，光刻系统采用在x方向放大4倍，在y方向上放大8倍，该系统称为变形光刻系统。
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