反演光刻(关于反演光刻介绍)

费栋绿
导读 大家好,笑笑来为大家解答以上的问题。反演光刻,关于反演光刻介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、 反演光刻技术(Inver

大家好,笑笑来为大家解答以上的问题。反演光刻,关于反演光刻介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!

1、 反演光刻技术(Inverse Lithography Technology,ILT),也叫逆向光刻技术、反向光刻技术。

2、是以硅片上要实现的图形为目标,反演计算出掩模版上所需要图形的算法。

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