导读 大家好,笑笑来为大家解答以上的问题。反应速率限制，关于反应速率限制介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！1、 在低的晶圆
大家好,笑笑来为大家解答以上的问题。反应速率限制，关于反应速率限制介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！
1、 在低的晶圆片温度下，淀积速率随温度倒数减小而增加，在此区域，工艺中的限制在于某一步反应的速率，该反应可能发生在气相中也可能在表面。
2、所提供的信息不足以确定气体是处于化学平衡还是动力学控制的。
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