反应离子刻蚀机台(关于反应离子刻蚀机台介绍)

卓厚炎
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1、 反应离子刻蚀机台是一种用于电子与通信技术、信息与系统科学相关工程与技术、航空、航天科学技术领域的工艺试验仪器。

2、于2017年09月21日启用。

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