导读 大家好,笑笑来为大家解答以上的问题。反应性离子刻蚀，关于反应性离子刻蚀介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！1、 反应性
大家好,笑笑来为大家解答以上的问题。反应性离子刻蚀，关于反应性离子刻蚀介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！
1、 反应性离子刻蚀 （reaction ionetching；RIE）是制作半导体集成电路的蚀刻工艺之一。
2、在除去不需要的集成电路板上的保护膜时，利用反应性气体的离子束，切断保护膜物质的化学键，使之产生低分子物质，挥发或游离出板面，这样的方法称为反应性离子刻蚀。
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