导读 EUV极紫外光刻机虽然是欧洲的荷兰出产的,但是欧洲方面一直都没有自己的 EUV生产线。在当地时间的9月29日爱尔兰莱克斯利普附近的英特尔Fab
EUV极紫外光刻机虽然是欧洲的荷兰出产的,但是欧洲方面一直都没有自己的 EUV生产线。在当地时间的9月29日爱尔兰莱克斯利普附近的英特尔Fab 34晶圆厂,正式开始使用EVU光刻工艺来大规模生产Intel 4工艺的Meteor Lake处理器。这也是位于美国本土的Fab第一之后英特尔第2座量产英特尔4 EUV工艺的晶圆工厂。英特尔公司采用的是精准复制的生产模式,将美国工厂的生产线100%复刻到了爱尔兰工厂,以此来提高良品率,保持性能的一致性,Intel 4工艺所使用的是7纳米的制造。
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