能造EUV光刻机的欧洲第一次有了自己的EUV生产线

蒲朋羽
导读 EUV极紫外光刻机虽然是欧洲的荷兰出产的,但是欧洲方面一直都没有自己的 EUV生产线。在当地时间的9月29日爱尔兰莱克斯利普附近的英特尔Fab
EUV极紫外光刻机虽然是欧洲的荷兰出产的,但是欧洲方面一直都没有自己的 EUV生产线。在当地时间的9月29日爱尔兰莱克斯利普附近的英特尔Fab 34晶圆厂,正式开始使用EVU光刻工艺来大规模生产Intel 4工艺的Meteor Lake处理器。这也是位于美国本土的Fab第一之后英特尔第2座量产英特尔4 EUV工艺的晶圆工厂。英特尔公司采用的是精准复制的生产模式,将美国工厂的生产线100%复刻到了爱尔兰工厂,以此来提高良品率,保持性能的一致性,Intel 4工艺所使用的是7纳米的制造。
Intel 4工艺和Intel 7在同等功耗频率的情况下,能够提升21.5%的性能,在同等频率下的功耗也能够降低40%以上,晶体管的密度增加1倍。能够生产出如此精密的芯片,其最重要的就是拥有EUV光刻机。英特尔此次将工厂搬到了爱尔兰,该设备就有10万个零部件组成,3000根电缆,以及4万个螺栓和超过一英里的软管所组成,英特尔一共花了18个月的时间才设计施工完成。
 

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